超高純度ファインセラミックスSiC部材

製品概要

ブリヂストンはタイヤを中心に事業を展開するグローバルカンパニーです。当社は従来より研究開発活動に投資を行い、数多くの実績をあげてきました。
タイヤで培った高水準の高分子技術を駆使し、またブリヂストンの有するナノテクノロジーの粋を集め、世界最高レベルの高純度炭化ケイ素焼結体「ピュアベータ」を完成させました。
焼結SiCは、純度が低いという常識をブリヂストンのピュアベータは覆し、すでに世界のトップレベルの半導体、装置メーカーに採用されています。
ピュアベータは、原料粉体合成から焼結、加工、洗浄まで、一環したクリーンラインで製造され、超高純度、優れた加工精度そしてコストパフォーマンスがピュアベータのKey Wordです。
半導体における次世代装置開発、製品性能向上、コストダウンを実現します。

PureBeta™の特徴

PureBeta™の歴史

1984〜89 ファインセラミックスの新規合成法を研究
SiCセラミックス原料粉の新規合成法を開発
1995〜 高純度SiC粉体の製造技術を開発
半導体関連分野に向け開発
1998〜 ホットプレス法によるSiCの新規焼結技術を開発
原料の高純度を維持(PureBeta-S:オールSiC)
SiCの反応焼結技術を導入(PureBeta-R:SiC/Si)
2000〜 半導体関連分野におけるSiC製品のマーケティング・販売活動を開始
2003〜 先端機能材事業部発足
ISO9001:2000、JIS Q9001:2000を取得

開発製造拠点

■粉体と焼結体の製造・加工・洗浄・評価分析に至るすべての技術を独自に開発しています。
■全工程をクリーンルーム内で一貫製造しています。(一部加工除く)